Đồng hồ đo công suất mới của Advanced Energy cải thiện độ chính xác, hiệu suất tại các ứng dụng điện RF

DENVER, COLORADO – Media OutReach – Advanced Energy (có cổ phiếu giao dịch tại Sàn giao dịch chứng khoán Nasdaq, New York, Mỹ, với mã – công ty hàng đầu thế giới về các giải pháp chuyển đổi, đo lường và điều khiển điện được thiết kế kỹ thuật cao, chính xác – vừa giới thiệu đồng hồ đo điện GEMINI ™ 5540A Radio Frequenc – RF (Tần số vô tuyến). Đồng hồ đo công suất mới cung cấp phép đo công suất RF trong dòng có độ chính xác cao trong một đơn vị tích hợp linh hoạt và thuận tiện cho các ứng dụng yêu cầu điều khiển công suất RF chính xác trong thị trường bán dẫn, truyền thông, công nghiệp và y tế.

Là công ty dẫn đầu về các giải pháp nguồn RF trong ngành bán dẫn, Advanced Energy tiếp tục mang đến những khả năng mới để cải thiện việc kiểm soát công suất plasma và hiệu suất của các quá trình khắc và lắng đọng tiên tiến.

Kết hợp khả năng cảm biến và máy đo thành một thiết bị đơn giản, dễ sử dụng, GEMINI 5540A đo ở dải tần số từ 0,2 đến 200 MHz và công suất từ ​​3 đến 5.000 W, với độ chính xác 2 sigma ± 0,5% + 0,5 W. Thiết bị tích hợp này cho phép người dùng thay thế nhiều thiết bị bằng một đồng hồ đo duy nhất cho các ứng dụng yêu cầu đo lường và kiểm soát chính xác công suất RF.

Ông Gerry Blumenstock, Phó chủ tịch phụ trách Bộ phận các sản phẩm điều khiển và cảm biến quan trọng của Advanced Energy cho biết: “Trong các quy trình bán dẫn đòi hỏi khắt khe như khắc plasma tỷ lệ khung hình cao (high aspect ratio-HAR), điều khiển chính xác và kết hợp giữa từng buồng của hệ thống RF tác động trực tiếp đến hiệu suất của quy trình. . Với GEMINI 5540A mới, các nhà sản xuất thiết bị gốc (Original Equipment Manufacturer -OEM) có thể hiệu chỉnh chính xác hệ thống và giám sát công suất RF trong thời gian thực, cải thiện độ trung thực và nhất quán của các quy trình dựa trên plasma tiên tiến nhất”.

GEMINI 5540A kết hợp màn hình kỹ thuật số OLED lớn, dễ đọc, hiển thị đồng thời công suất thuận và nghịch, tỷ lệ sóng đứng điện áp (voltage standing wave ratio – VSWR) và tần số. Nó tự động cảm nhận tần số mà không cần cấu hình lại cho các phép đo công suất thuận và nghịch. Máy đo giảm hiệu chuẩn xuống còn 12 tháng một lần, so với 6 tháng đối với các thiết bị thông thường.Thiết bị đo hoạt động với đầu vào 5 V, 500 mA được cung cấp qua cổng USB 2.0 tiêu chuẩn sử dụng pin ngoài hoặc ổ cắm điện AC và bộ chuyển đổi USB có sẵn.

Ngoài việc thực hiện các phép đo trực tiếp, thiết bị đo cũng có thể được kết nối với máy tính cá nhân (PC) để thu thập, lưu trữ và kiểm tra dữ liệu bằng phần mềm trực quan hóa dữ liệu GEMINI Tools của Advanced Energy.

Để biết thông tin chi tiết về sản phẩm và thông số kỹ thuật, hãy truy cập www.tegam.com/shop/rf-microwave/power-meters/no-product/gemini-5540a-rf-power-meter.

Thông tin về Advanced Energy

Advanced Energy (có cổ phiếu giao dịch tại Sàn giao dịch chứng khoán Nasdaq, New York, Mỹ, với mã AEIS) – công ty hàng đầu thế giới chuyên cung cấp các giải pháp chuyển đổi điện năng, đo lường và điều khiển năng lượng được thiết kế chính xác, có độ chính xác cao cho các ứng dụng và quy trình quan trọng. Các giải pháp năng lượng của Advanced Energy cho phép khách hàng đổi mới trong các ứng dụng phức tạp cho nhiều ngành công nghiệp, bao gồm thiết bị bán dẫn, công nghiệp, sản xuất, viễn thông, trung tâm dữ liệu và chăm sóc sức khỏe.

Với bí quyết kỹ thuật, dịch vụ đáp ứng và hỗ trợ trên toàn cầu, công ty xây dựng quan hệ đối tác hợp tác để đáp ứng những tiến bộ công nghệ, thúc đẩy tăng trưởng cho khách hàng và đổi mới tương lai của điện năng. Có trụ sở chính tại Denver, bang Colorado, Mỹ, Advanced Energy đã cống hiến hơn bốn thập kỷ để hoàn thiện các thiết bị năng lượng cho khách hàng trên toàn thế giới.

Để biết thông tin, hãy truy cập www.advancedenergy.com.

#AdvancedEnergy